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Halbleitertechnologie / Bd. 1, Mechanische und chemische Kristallbearbeitung Schichtherstellung.

Schade, Klaus.

Halbleitertechnologie / Bd. 1, Mechanische und chemische Kristallbearbeitung Schichtherstellung. Klaus Schade. - Berlin : VEB Verlag Technik, 1981. - 238 s. : il. ; 24 cm.

bibliogr.

Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: 621.315.59:621.382

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