Materialovedenie v mikroelektronike /

Palatnik, Lev Samojlovic.

Materialovedenie v mikroelektronike / Lev Samojlovic Palatnik, Vadim Konstantinovic Sorokin. - Moskva : Energia, 1978. - 279 s. : il. ; 24 cm.

bibliogr.

620.2:621.38