Materialovedenie v mikroelektronike /
Palatnik, Lev Samojlovic.
Materialovedenie v mikroelektronike / Lev Samojlovic Palatnik, Vadim Konstantinovic Sorokin. - Moskva : Energia, 1978. - 279 s. : il. ; 24 cm.
bibliogr.
620.2:621.38
Materialovedenie v mikroelektronike / Lev Samojlovic Palatnik, Vadim Konstantinovic Sorokin. - Moskva : Energia, 1978. - 279 s. : il. ; 24 cm.
bibliogr.
620.2:621.38