Ellipsometria : teoria, metody, prilozenia /

Ellipsometria : teoria, metody, prilozenia / red. A. V. Rzanov, L. A. Il'ina. - Novosibirsk : Nauka, 1987. - 191 s. : il. ; 29 cm.

Akademia nauk SSSR.

bibliogr.

535.5:620.19