Boyd, Ian W. <br/><br/>
Laser Processing of Thin Films and Microstructures :  Oxidation, Deposition and Etching of Insulators / 
Ian W. Boyd. 
 - Berlin :  Springer-Verlag,  1987. 
 - VIII, 320 s. :  il. ;  24 cm. 
 - (Springer Series in Materials Science)  Vol. 3 .
<br/><br/>bibliogr. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>3540179518 
<br/><br/><label>Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: </label> 621.375.826:535.3