TY  - BOOK
AU  - Karban',Valerij Ivanovic
AU  - Borzakov,Urij Ivanovic
TI  - Obrabotka monokristallov v mikroelektronike
PY  - 1988///
CY  - Moskva
PB  - Radio i svaz'
N1  - bibliogr
ER  -