Technika warstwowa w mikroelektronice :  praca zbiorowa. 

 - Warszawa:  Wydaw. Nauk.-Techn.,  1973. 
 - 350 s. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>bibliogr. 
<br/><br/><label>Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: </label> 621