Schade, Klaus. <br/><br/>
Halbleitertechnologie /  Bd. 1,  Mechanische und chemische Kristallbearbeitung Schichtherstellung. 
Klaus Schade. 
 - Berlin :  VEB Verlag Technik,  1981. 
 - 238 s. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>bibliogr. 
<br/><br/><label>Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: </label> 621.315.59:621.382