Schade, Klaus. <br/><br/>
Halbleitertechnologie.  Bd. 2,  Dotierung, Maskierung, Montage / 
Klaus Schade. 
 - Berlin:  VEB Verlag Technik,  1983. 
 - 404 s. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>bibliogr. 
<br/><br/><label>Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: </label> 621.315.59+621.382