Parfenov, Oleg Dmitrievic. <br/><br/>
Tehnologia mikroshem / 
Oleg Dmitrievic Parfenov. 
 - Moskva :  Vyssaa skola,  1977. 
 - 254 s. :  il. ;  22 cm. 
<br/><br/>bibliogr. 
<br/><br/><label>Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: </label> 621.38