Palatnik, Lev Samojlovic. <br/><br/>
Materialovedenie v mikroelektronike / 
Lev Samojlovic Palatnik, Vadim Konstantinovic Sorokin. 
 - Moskva :  Energia,  1978. 
 - 279 s. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>bibliogr. 
<br/><br/><label>Uniwersalna Klasyfikacja Dziesiętna: </label> 620.2:621.38