TY  - BOOK
AU  - Ajnspruk,N.
AU  - Braun,D.
AU  - Einspruch,Norman G.
AU  - Brown,Dale M.
TI  - Plazmennaa tehnologia v proizvodstve SBIS
PY  - 1987///
CY  - Moskva
PB  - Mir
N1  - bibliogr
ER  -