000 00728cam a2200229 i 4500
001 pc18035510k
008 071015s1977 00 rus
935 _a0035-51060
040 _aCZEST 2/OOZ/EM
041 0 _arus
080 _a621.315.6:621.382-181.48:620.2
100 1 _aKorzo, Viktor Fedorovic.
245 1 0 _aDielektriceskie plenki v mikroelektronike /
_cViktor Fedorovic Korzo, Vladimir Nikolaevic Cernaev.
260 _aMoskva :
_bEnergia,
_c1977.
300 _a366 s. :
_bil. ;
_c24 cm.
440 0 _a(Elektronnoe Materialovedenie)
504 _abibliogr.
700 1 _aCernaev, Vladimir Nikolaevic.
998 _aMATERIAƁOZNAWSTWO ELEKTROTECHNICZNE
998 _aMIKROELEKTRONIKA
942 _2z
_cWE
999 _c35329
_d35329