000 00558cam a2200193 i 4500
001 pc18055063k
008 181115s1986 00 rus
935 _a0055-06360
040 _aCZEST 2/OOZ/MK
041 0 _arus
080 _a621.941
100 1 _aAlekseev, Georgij Aleksandrovic.
245 1 0 _aDinamika nanesenia precizionnogo mikrorel'efa /
_cG. A. Alekseev.
260 _aLeningrad :
_bIzdatel'stvo Leningradskogo Universiteta,
_c1986.
300 _a181 s. :
_bil. ;
_c20 cm.
504 _abibliogr.
998 _aTOCZENIE
942 _2z
_cZ
999 _c54035
_d54035